基本解释[电子、通信与自动控制技术]反应溅射刻蚀[机械工程]响应溅射刻蚀回应溅射刻蚀词组短语短语reactive sputter etching system 反应性溅镀蚀刻系统专业释义电子、通信与自动控制技术反应溅射刻蚀机械工程响应溅射刻蚀回应溅射刻蚀