基本解释

• [电子、通信与自动控制技术]真空紫外线激光器

英汉例句

双语例句

• Coherent light sources in the deep and vacuum UV (DUV and VUV) spectral regions become more important with the development of photolithography, laser micro-machining as well as laser spectroscopy.
  随着光刻、激光微加工以及激光光谱仪的发展，紫外与深紫外光谱区的相干光源变得越来越重要。

专业释义

电子、通信与自动控制技术

• 真空紫外线激光器